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什么是質量流量計?什么是質量流量控制器?

作者: 來源: 日期:2020/10/14 9:45:29 人氣:1269

質量流量計,即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,

其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器,即Mass flow controller(縮寫為MFC),不但具有質量流量計的功能,

更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,

即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。

簡單地說,質量流量控制器就是一個穩定裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。 

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